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这款来自德国的智能液体的清洗原理完全不同于传统清洗模式。
传统的清洗模式先溶解基底表面的杂质,然后将已溶解的杂质带离基底表面,从而清洗基底。这种颗粒/光致抗蚀剂/金属剥离方式有如下缺点:
1. 使用的化学药剂污染环境(如HF,NMP等)
2. 传统清洗方式需要大量药剂,从而大大提高了所需的成本和设备投资要求
3. 清洁无选择性,导致其不仅清理杂质,也会损伤基板,这一问题对微电子工业的微纳米图案来说尤为关键。
本项目的智能液体清洁剂是一种水基透明液体,组成成分为温和无害的环保材料,如水、油、表面活性剂和两亲分子的混合物。所有的材料都经过测试并应用于化妆品中。它是由等离子微粒构成的混合物,这种微粒的直径在5至400纳米之间,并以每秒1000至8000次的频率振动。它的大小和持续震动性使其可以渗透入直径低至纳米单位的孔隙内,通过自底部的振动使基底层上的杂质(颗粒,光致抗蚀剂层,金属)与基底分离,继而打碎剥离的杂质并将其从基底表面清洗干净。
该清洁剂的ph值为中性,这使得它与所有应用于机械装置(不锈钢,PTFA,PTA,Halar,Kalrez等)的传统清洁过程相比有着显著的优势,同时不会损伤设备。
世界顶级的金属清洗厂商SSEC(Horsham,PA)已对本产品进行了测试,它在金属清洗和晶圆清洗中的表现都很出色。
几个主要应用场景包括:
对微电子工业来说,这一新型清洁技术的优势在于:
1. 可广泛应用于颗粒去除,光刻胶剥离,金属剥离,小室及零部件清洁等场合
2. 更有效、更有选择性地清洁基底,不损伤基底表面,适用于微纳米图案
3. 可降低总所有成本和投入:处理时间短,减少清洁步骤,减少化学药品使用,节约能源
4. 绝对的“绿色化学”,使用的全部成分均为经测试无害或用于化妆品成分中,更易于进行污染处理和管理,帮助提升工业的环保形象,建设新厂时更容易取得官方许可
资讯整理:中国建材家居网十大清洁剂品牌专题《http://www.jiancai163.cn/qjj》
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